據(jù)日經(jīng)新聞報道,荷蘭大型半導體制造設(shè)備廠商 ASML 將在 2024 年下半年之前在日本北海道新建技術(shù)支持基地。
報道稱,日本 Rapidus 公司正在力爭量產(chǎn)最先進半導體,ASML 將為 Rapidus 提供工廠建設(shè)和維護檢查等協(xié)助,到 2028 年前后將日本國內(nèi)人員增加 40%。
ASML 在承擔半導體制造主要工序的光刻設(shè)備領(lǐng)域居世界首位,是全球唯一能生產(chǎn)極紫外(EUV)光刻機的制造商。EUV 是量產(chǎn) 5~7nm 尖端半導體所需設(shè)備,因此對于日本本土半導體來說,ASML 的支持至關(guān)重要。
ASML 將在北海道千歲市周邊建設(shè)技術(shù)支持基地,由約 50 名技術(shù)人員在 Rapidus 建設(shè)的半導體試生產(chǎn)線上安裝 EUV 光刻設(shè)備,為工廠建設(shè)和維護檢查提供協(xié)助。
報道還稱,美國應(yīng)用材料公司也將在今后數(shù)年內(nèi)在日本將人員增加 60%。美國科林研發(fā)公司(LamResearch)考慮在北海道新建設(shè)施。
注:Rapidus 成立于 2022 年 8 月,由豐田、索尼、NTT、NEC、軟銀、電裝 Denso、鎧俠、三菱日聯(lián)銀行等 8 家日企共同出資設(shè)立,出資額為 73 億日元(當前約 3.58 億元人民幣),另外日本政府也提供了 700 億日元(當前約 34.37 億元人民幣)補助金作為研發(fā)預(yù)算。該公司計劃于 2024 年 12 月安裝芯片設(shè)備并開始試生產(chǎn),目標是在 4 年內(nèi)(最遲 2028 年)量產(chǎn) 2nm 芯片。